用于总压测量的真空计

每个真空计都基于不同的物理原理,并且比其他真空计更适合某些应用。真空计的压力范围由其测量原理以及测量装置的设计和结构决定。

为您的应用选择合适的真空计

每个真空计都基于不同的物理原理,并且比其他真空计更适合某些应用。真空计的压力范围由所使用的测量原理以及测量装置的设计和结构决定。

除了要检测的压力范围外,选择真空计的标准还取决于不同的一般条件:

  • 测量范围

  • 所需精度

  • 气体成分(惰性或腐蚀性)

  • 环境条件如B.电离辐射、强磁场

  • 接口类型(模拟或数字信号)

除了实际的测量设备外,还有一些可简化操作的附件,例如显示、评估和记录。原则上,用测量管只能测定总压;质谱仪用于测定分压。

我想在哪个压力范围内测量总压力以及测量精度是多少?

如果仅监控较小压力范围的过程状态,则可以根据以下列表选择基于压力范围的测量原理。还列出了相应的准确度和再现性。根据测量的精确程度,对精度的要求以及测量设备的成本会有所不同。

皮拉尼测量原理

  • 测量原理:气体热导率

  • 压力范围:低真空至高真空(1 · 103至 1 · 10-4 hPa)

  • 准确度要求:低到中

Vacuum Measurement Principles –Pirani Gauge
皮拉尼arrow_forward

压阻式测量原理

  • 测量原理:应变片的电阻随压力变化 压力

  • 范围:粗真空到细真空(1 · 103至 1 · 10-1 hPa)

  • 准确度要求:中

Vacuum Measurement Principles – Piezo-resistive Gauge
压阻式arrow_forward

电容式测量原理

  • 测量原理:电极间电容的变化

  • 压力范围:细真空至高真空(1 · 103至 1 · 10-5 hPa)

  • 精度要求:高

Vacuum Measurement Principles – Capacitive Gauge
电容式arrow_forward

冷阴极测量原理

  • 测量原理:冷阴极电子发射

  • 设计:潘宁、倒置磁控管

  • 范围:高真空至超高真空(1 · 10-2至 1 · 10-11 hPa )

  • 准确度要求:中

Vacuum Measurement Principles – Cold Cathode Gauge
冷阴极arrow_forward

热阴极测量原理

  • 测量原理:热阴极电子发射

  • 设计:Bayard- Alpert ,提取系统

  • 范围:超高真空至极高真空(1 · 10-2至 1 · 10-12 hPa )

  • 精度要求:高

Vacuum Measurement Principles – Hot Cathode Gauge
热阴极arrow_forward

通过测量原理的战略组合优化真空系统

对于较大的区域,在一些真空系统中,可能需要将几种类型的真空计与相同和/或不同的测量原理结合起来。这可以通过将多个单独的测量管集成到一个系统中或通过使用组合测量管来实现。 根据要求和组合,可以确定相应压力范围内所需的精度,以控制整个过程

疏散房间内的人员,直至随后发生洪水。提供压电/皮拉尼、皮拉尼/电容、皮拉尼/热阴极和皮拉尼/冷阴极组合。

可用法兰形状 :ISO-KF(标准)和 CF 法兰是最常用的。一些测量管配有易于消毒的TriClamp法兰、VCR 或螺纹。根据应用温度,还可以使用带有加长法兰的真空计,从而增加与温度的距离。

我想如何评估我的真空测量设备?

真空计的工作原理是检测压力变化并将这些变化转换为用户可以解释的电信号。真空计可以生成两种类型的信号:模拟信号和数字信号。除了评估信号之外,还有各种接口 ;两者的选择取决于具体的应用要求。是否需要实时数据交换、是否集成了多个测量设备以及用户友好性是否是首要考虑因素?

还应考虑所需的硬件和软件以及接口的复杂性和维护工作量。

DigiLine 和ActiveLine 两个标准设备系列是有源真空计,这意味着电子元件与实际测量设备位于同一外壳中。

DigiLine : 具有数字信号输出的设备

DigiLine变送器专为需要易于安装和可靠的总压力测量的工业和研究应用而设计。该系列涵盖了技术上有趣的真空范围,采用压电、皮拉尼、电容、热阴极和冷阴极传感器的测量原理。所有变送器均具有 RS-485接口,通过该接口最多可将 16 个测量点连接到控制器。

DigiLinearrow_forward

ActiveLine :具有模拟 信号输出的设备

ActiveLine系列提供多种真空计选择,具有不同的测量原理和经典的模拟输出。该系列涵盖了从超高真空到超压范围的技术上有趣的真空。变送器的压力比例输出电压可以由三个控制设备显示为压力,或者通过模拟输入读取,以便在控制系统中进一步处理。

ActiveLinearrow_forward

特殊要求的真空计

由于经常出现特殊要求,普发真空为此拥有自己的型号系列。其中包括无源真空计。

ModulLine :用于电离辐射区域的总压力测量

这些测量管不包含任何电子设备,这使得它们适合在辐射水平较高的地方等使用。

ModulLinearrow_forward

独立于电源使用的手持式测量设备和压力表

有两种不同的带显示屏的电池供电手持式测量设备。 TPG 201 根据热传导原理(皮拉尼)工作。 TPG 202 还具有用于较高压力范围的压阻压力传感器。

手持式真空计arrow_forward

用于系统集成的集成传感器

无论您是想将真空测量设备集成到复杂的系统中还是监控单个泵:集成传感器都需要很少的空间,并提供与泵电子设备的简单连接。

多种灯丝选项可实现最佳真空计性能

关于加热丝:根据测量管使用的气氛,不同的材料可以有不同的使用寿命。因此,我们提供不同版本的相关真空计,例如由镍、钨、带有氧化钇涂层(Y2O3)的钨/铱或铂/铑制成。不知道什么最适合您?只需与我们交谈即可。

满足独特需求的定制解决方案

为了满足客户的愿望,我们还提供一些不属于我们标准系列的测量设备。其中包括CLR 39x 型CLR 测量管, 专门设计用于可蒸汽灭菌的冷冻干燥机。温控电容真空测量管的传感器被加热到恒定的160°C,这使得能够在10 hPa至1·10-3 hPa的范围内进行非常精确的压力测量。这些测量管通过 PLC 进行控制,并且可选配易于消毒的TriClamp法兰。

包含操作真空计所需的一切的套件

完整的测量设备由变送器、控制装置和电缆组成。后者有各种标准长度可供选择,适用于不同的温度范围。您可以找到与所选产品相匹配的测量管以及附件。

我们为最常见的产品提供有吸引力的软件包 ,但也可以进行单独配置,例如,如果您计划将来扩展系统。如果您无法自行解决问题,请联系您的销售联系人 以获得支持,帮助您选择合适的产品。

OmniControl® - universal control unit

清洁和校准以获得可靠的测量值

一些真空计比其他真空计受到的污染更严重,这主要是由于它们的使用过程所致。 适当的清洁可以延长它们的使用寿命。您想知道这是如何运作的吗?请参阅我们的白皮书了解更多信息。

此外,测量设备必须定期按照标准进行校准,因为过程的质量取决于测量值的准确程度。这是质量管理标准 ISO 9001 所要求的。如果您想自己进行校准,我们可以提供校准服务校准泵站

白皮书:
如何正确清洗真空计?