Quadrupol-Massenspektrometer

Zur Beurteilung der Restgaszusammensetzung in einem Vakuumsystem

Massenspektrometer liefern aussagekräftige Informationen über ein Vakuumsystem in den verschiedenen Betriebsphasen, sei es nach dem Aufbau bei der Beurteilung der Dichtigkeit und der Kontaminationsfreiheit oder beim Betrieb eines Prozesses zu dessen Charakterisierung. Die Auswahl des Detektors im Massenspektrometers wird vom Druckbereich im Vakuumsystem bestimmt. Weitere wichtige Auswahlkriterien sind der nachzuweisende Massenbereich und die Art der Ionenquelle. Kontaktieren Sie unsere Anwendungsspezialisten, um aus den frei konfigurierbaren Bausteinen das für Sie optimal abgestimmte Quadrupol-Massenspektrometer auszuwählen.

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Quadrupol-Massenspektrometer

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