Restgasanalyse

Für die Gasanalyse im (Ultra-)Hochvakuum bis Atmosphärendruck

Quadrupol-Massenspektrometer benötigen einen Arbeitsdruck im Hochvakuum von kleiner als 1 x 10-4 hPa. Zur Gasanalyse bei höheren Drücken, wie sie in vielen Vakuumprozessen vorherrschen, benötigt man daher ein aufeinander abgestimmtes System von Massenspektrometer, Gaseinlass mit entmischungsfreier Druckreduzierung sowie Vakuumpumpstände und eine Totaldruckmessung. Unsere Produkte auf Basis von Quadrupol-Massenspektrometern bieten für jede Gasanalyse im Bereich von Ultrahochvakuum bis zum Atmosphärendruck eine geeignete Lösung. Durch ihren modularen Aufbau können die Geräte an praktisch alle Messaufgaben optimal angepasst werden. Unsere Anwendungsspezialisten beraten Sie gerne, um die für Sie passende Lösung zu finden.

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Gasanalysesystem

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