Handmessgeräte

Totaldruckanzeige direkt an der Prozesskammer

Die batteriebetriebenen Handmessgeräte für einfache Druckanzeige und -speicherung gibt es in zwei Ausführungen: Das TPG 201 arbeitet nach dem Wärmeleitungsprinzip (Pirani). Das TPG 202 besitzt zusätzlich einen gasartunabhängigen piezo-resistiven Druckaufnehmer für den oberen Druckbereich. Je nach Gerät decken die Handmessgeräte einen Druckbereich zwischen 1.200 hPa bis 5 · 10-4 hPa ab.

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Handmessgeräte

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